Su-8 revêtements nanocomposites avec une amélioration des performances tribologiques pour MEMS

L'intérêt croissant pour les systèmes micro-électromécaniques (MEMS) a augmenté l'exigence de matériaux photorésistants avec des propriétés améliorées de frottement et d'usure pour les microstructures en forme de 3D chargées mécaniquement

Images optiques des traces d'usure laissées par les boules d'acier sur (a) SU8, b) SU8 après traitement thermique, (c) A composite, (d) composite A après traitement thermique, (e) composite B, (f) composite B après traitement thermique. Le cadre horizontal de chaque image correspond à 0,6 mm.

Jiguet, S. ; Judelevicz, M. ; Mischler, S. ; Hofmann, H. et coll.

Technologie de revêtements de surface, vol. 201, num. 6, 2006, p. 2289-2295

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