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Gersteltec Engineering Solutions
Swiss Made SU-8 photoepoxy funktionelle Produkte für MEMS, LIGA und Mikroelektronik

Hochwertiger Faktor Kupferinduktivitäten integriert in tieftrocken geätzten Quarzsubstraten

Schematischer Querschnitt des Fertigungsprozesses für horizontale Ebeneninduktivitäten in Quarzverpackungen.

Leroy, Christine ; Pisani, Marcelo B. ; Hibert, Cyrille ; Bouvet, Didier et al.


Proceedings of the 2006 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS / MOEMS, DTIP 2006, 2006P
résenté é: DTIP 2006, Stresa, Italien, April 2006.

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