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Gersteltec Engineering Solutions
Produits fonctionnels SU-8 photoépoxy de fabrication suisse pour MEMS, LIGA et Microélectronique

Photorésistant conducteur SU8 pour la microfabrication

Un photoresist composite conducteur a été développé pour le photopatterning direct de l'électrodesUn photoresist composite conducteur a été développé pour le photopatterning direct des électrodes. Il est basé sur une dispersion de nanoparticules d'argent dans SU8, un photoresist non conducteur, de ton négatif. Les structures fabriquées ont une consistance électrique-tivity à une faible teneur en argent d'environ 6 vol.-%.

Évolution de la résistance électrique du composite SU8-argent par rapport à la fraction de volume d'argent, avant et après le traitement thermique (iso- therm de 90 min à 120 oC). Un commutateur drastique dans la résistance a été observé au seuil de percolation (6 vol.-%), et un en-hancement de conductivité électrique a été obtenu après le traitement thermique.

Jiguet, Sébastien ; Bertsch, Arnaud ; Heinrich Hofmann ; Philippe Renaud

Matériaux fonctionnels avancés, num. 15, 2005, p. 1511-1516

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