Das folgende Papier beschreibt ein Opferschichtverfahren zur Herstellung von mikrofluidischen Geräten in Polyimid und SU-8. Die Technik verwendet wärmedepolymerisierbare Polycarbonate, die in Polyimid oder SU-8 eingebettet sind, zur Erzeugung von Mikrokanälen und versiegelten Hohlräumen. Die flüchtigen Zersetzungsprodukte, die aus der Thermolyse des Opfermaterials stammen, entweichen durch Diffusion durch die Deckschicht aus dem Einbettmaterial. Der Herstellungsprozess wurde experimentell und theoretisch mit dem Schwerpunkt auf der Zersetzung der Opfermaterialien und deren Diffusion durch die Polyimid- oder SU-8-Abdeckungsschicht untersucht. Es wird gezeigt, dass der Opfermaterialentfernungsprozess unabhängig von der tatsächlichen Kanalgeometrie ist und im Gegensatz zu herkömmlichen Opferschichttechniken linear mit der Zeit voranschreitet. Die Fertigungsmethode bietet eine vielseitige und schnelle Technik für die Herstellung von mikrofluidischen Geräten für Anwendungen im Bereich "TAS" und "Lab-on-a-Chip".
Metz, S ; Jiguet, S ; Bertsch, A ; Renaud
LAB ON A CHIP, Bd. 4, num. 2, 2004, S. 114-120