Protonenstrahllithographie eine maskenlose Direktschreib-Lithographietechnik (gut geeignet für die Herstellung von dreidimensionalen Mikrostrukturen in einer Reihe von Widerstands- und Halbleitermaterialien) wird als effektives Werkzeug bei der Erstellung elektrisch leitfähiger freistehende Mikrostrukturen in einem Su 8 + Nano Silver Polymerverbundwerkstoff.
H. Igbenehu und S. Jiguet
Materialwissenschaft und Technik 40 (2012)012002, Datum: 2012,