Wir beschreiben ein neuartiges Oberflächen-Mikrobearbeitungsverfahren für die Herstellung von meMS-Geräten vom typanischen Typ, wie z. B. freistehende Ausleger, das auf der Verwendung von Mikroformen mit hohem Seitenverhältnis von SU8 und Aluminium als Opferschicht basiert.
Fakhfouri, V ; Jiguet, S ; Brugger
Advances in Science and Technology, Vol. 45, 2006, S. 1293-1298 Pr
ésenté: CIMTEC 2006 (11. Internationale Konferenzen über moderne Werkstoffe und Technologien), Sizilien, Italien, 4.-9. Juni 2006.