Die Tribologie des SU-8-Polymers wird aufgrund des bersten Einsatzes dieses Materials in einer Vielzahl von Anwendungen immer relevanter. Diese Studie zielt auf die Einführung und Untersuchung eines neuartigen selbstschmierenden Verbunds einer ionischen Flüssigkeit (IL)vin SU-8 ab. Das neue Material kann für die Facrikierung von Schmierpolymerbeschichtungen mit abstimmbaren Oberflächeneigenschaften oder SU8-gefertigten Elementen für mikroelektromechanische Systeme (MEMS) mit verbesserter tribologischer Leistung verwendet werden.

Leili Batooli, Sandra Guadalupe Maldonado, Moshe Judelewicz und Stefano Mischler
Mikromaschinen 2015, 6.611-621