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Gersteltec Engineering Solutions
Swiss Made SU-8 photoepoxy funktionelle Produkte für MEMS, LIGA und Mikroelektronik

Vorbereitung und Charakterisierung von SU8-Kohlenstoff-Nanoröhren-Verbundwerkstoffen

Mehrere neuere Detektortechnologien, die für Anwendungen in der Teilchenphysik entwickelt wurden, basieren auf mikrofabrizierten Strukturen. Detektoren, die mit diesem Ansatz erstellt wurden, weisen in der Regel die insgesamt beste Leistung in Bezug auf räumliche und zeitliche Auflösung auf. 

SU8-Kohlenstoff-Nanoröhren-Verbundwerkstoffe wurden hergestellt, um die mechanischen, elektrischen und thermischen Eigenschaften SU8 photoresists. Homogene Verbundwerkstoffe haben wurde bei mehrwandigen Kohlenstoff-Nanoröhren (MWCNTs) mit COOH-Gruppen funktionalisiert wurden. In der Tat, COOH können Gruppen mit dem Epoxidring des SU8-Moleküls reagieren eine verbesserte Wechselwirkung zwischen Kohlenstoff-Nanoröhren

(ZNTs) und die Polymermatrix. Die Impedanzspektroskopie wurde verwendet, um den leitenden Perkolationspfad in den Verbundwerkstoffen zu untersuchen, das ist die Qualität der Nanordispersion im Epoxid Matrix. Es stellt sich heraus, dass Propylenglykolmethyletheracetat (PGMEA) sowie Gamma-Butyrolacton (GBL) sind sehr geeignetes Lösungsmittel zur Herstellung von SU8-MWCNTs-Verbundwerkstoffen aus Homogenität.

SU8-Kohlenstoff-Nanoröhren-Verbundwerkstoffe wurden hergestellt, um die mechanischen, elektrischen und thermischen Eigenschaften SU8 photoresists. Homogene Verbundwerkstoffe haben wurde bei mehrwandigen Kohlenstoff-Nanoröhren (MWCNTs) mit COOH-Gruppen funktionalisiert wurden. In der Tat, COOH können Gruppen mit dem Epoxidring des SU8-Moleküls reagieren eine verbesserte Wechselwirkung zwischen Kohlenstoff-Nanoröhren

(ZNTs) und die Polymermatrix. Die Impedanzspektroskopie wurde verwendet, um den leitenden Perkolationspfad in den Verbundwerkstoffen zu untersuchen, das ist die Qualität der Nanordispersion im Epoxid Matrix. Es stellt sich heraus, dass Propylenglykolmethyletheracetat (PGMEA) sowie Gamma-Butyrolacton (GBL) sind sehr geeignetes Lösungsmittel zur Herstellung von SU8-MWCNTs-Verbundwerkstoffen aus Homogenität.

Mikrostrukturen basierend SU8–MWCNTs Composite, hergestellt von Standard-UV-Photolithog-Raphy.

Viele Eigenschaften des SU-8 Photoepoxy machen es für die Herstellung von mikrostrukturierten Partikeldetektoren geeignet. Dieser Artikel zielt darauf ab, einige neue Detektortechnologien zu überprüfen, die SU-8 Mikrostrukturierung nutzen, nämlich mikromustergasförmige Detektoren und mikrofluidische Szintillationsdetektoren.

Marijana Mionic , Sbastien Jiguet, Moshe Judelewicz, Laszlo Forro und Arnaud Magrez


Phys. Status Solidi B 246, Nr. 11–12, 2461–2464 (2009)