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Swiss Made SU-8 photoepoxy funktionelle Produkte für MEMS, LIGA und Mikroelektronik

Mikrofertigung von Keramikkomponenten durch Mikrostereolithographie

Die Mikrostereolithographie ist eine Technik, die die Herstellung kleiner und komplexer dreidimensionaler (3D) Komponenten aus Kunststoff ermöglicht. Viele der mit dieser Technik hergestellten Komponenten sind zu klein und zu komplex, um durch Formteile repliziert zu werden, und folglich müssen die hergestellten Komponenten über ausreichende mechanische oder chemische Eigenschaften verfügen, um nützlich zu sein. Bisher beschränkte sich die Auswahl der im Mikrostereolithographie-Verfahren verfügbaren Materialien auf Kunststoff, wobei nur wenige lichtempfindliche Harze zur Verfügung standen. In diesem Beitrag beschreiben wir neue lichtempfindliche Polymer-/Verbundharze, die im Mikrostereolithographie-Verfahren zur Herstellung komplexer 3D-Komponenten eingesetzt werden können. Diese Harze basieren auf dem Einsetzen einer hohen Last (bis zu 80 Gew.- von Aluminiumoxid-Nanopartikeln in einer lichtempfindlichen Polymermatrix. Die resultierenden Verbundobjekte können einem Entbinder- und Sinterschritt unterzogen werden, der in reine keramische Mikrokomponenten umgewandelt werden kann. Während dieses Prozesses ist ihre Form unverändert, aber die Komponenten unterliegen einer gewissen Schrumpfung. Wenn die Belastung des Füllmaterials im Verbundharz hoch genug ist, sind in den endgültigen Keramikkomponenten keine Verformungen und risse zu erkennen. Wir präsentieren verschiedene Beispiele komplexer 3D-Strukturen aus Verbundwerkstoffen und in reiner Keramik.

Bertsch, A ; Jiguet, S ; Renaud

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, Bd. 14, num. 2, 2004, S. 197-203

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