SU-8フォトレジストは、構造材料として、またはマイクロ流体デバイスの成形のために微細加工の分野で一般的に使用されます。しかし、主な制限の1つは、部分的に独立したSU-8構造またはモノリシック閉じた空洞およびオンチップチャネルを処理することが困難である
Y. モーザー • R. フォルティ • S. ジゲ • T. レーナート • M. A. M. ギー
マイクロ流体ナノ流体 (2011) 10:219-224
SU-8フォトレジストは、構造材料として、またはマイクロ流体デバイスの成形のために微細加工の分野で一般的に使用されます。しかし、主な制限の1つは、部分的に独立したSU-8構造またはモノリシック閉じた空洞およびオンチップチャネルを処理することが困難である
Y. モーザー • R. フォルティ • S. ジゲ • T. レーナート • M. A. M. ギー
マイクロ流体ナノ流体 (2011) 10:219-224