UV-LIGAとマイクロステレオリソグラフィーを用いて機能的な3Dおよび高形因子複合オブジェクトの微細加工

本研究では、UV-LIGAおよびマイクロステレオリソグラフィー微細加工プロセスのための新しい複合フォトレジストを取り扱う。

ジゲ, セバスチャン ;ルノー,フィリップ

ローザンヌ: EPFL, 2004.

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