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Gersteltec Engineering Solutions
MEMSおよびマイクロエレクトロニクス用のスイス製SU-8フォトエポキシ機能製品

マイクロステレオリソグラフィーによるセラミック成分の微細加工

マイクロステレオリソグラフィーは、プラスチック材料中の小さくて複雑な3次元(3D)コンポーネントの製造を可能にする技術です。この技術によって生成される部品の多くは、小さすぎて複雑すぎて成形によって複製できないため、生産されたコンポーネントは有用な機械的または化学的特性を十分に持っている必要があります。これまで、マイクロステレオリソグラフィープロセスで利用可能な材料の選択はプラスチックに限られていましたが、利用可能な感光性樹脂はわずかでした。本論文では、複雑な3D成分を製造するためのマイクロステレオリソグラフィープロセスで使用できる新しいポリマー/複合感光性樹脂について述べます。これらの樹脂は、高負荷(最大80重量%)の挿入に基づいています感光性ポリマーマトリックス中のアルミナナノ粒子の。結果として得られる複合オブジェクトは、純粋なセラミックマイクロコンポーネントに変換される脱結合および焼結ステップを受けることができます。このプロセスの間、その形状は変わりませんが、コンポーネントはいくつかの収縮を受けます。複合樹脂中の充填材の荷重が十分に高い場合、最終的なセラミック部品に変形や亀裂は見えません。複合材料と純粋なセラミックにおける複雑な3D構造の異なる例を提示する。

バーツシュ、A ;ジゲ、S ;ルノー、P

マイクロメカニクスとマイクロエンジニアリングのジャーナル, vol. 14, num. 2, 2004, P. 197-203

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