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Gersteltec Engineering Solutions
MEMSおよびマイクロエレクトロニクス用のスイス製SU-8フォトエポキシ機能製品

SU8カーボンナノチューブ複合材料の調製と特性測定

素粒子物理学アプリケーション用に開発されたいくつかの最近の検出器技術は、微細加工構造に基づいています。このアプローチで構築された検出器は、一般に、空間分解能と時間分解能の面で全体的に最高のパフォーマンスを示します。 

SU8-カーボンナノチューブ複合材料は、 の機械的、電気的、および熱的特性を高める SU8フォトレジスト。均質な複合材料は、 多層カーボンナノチューブ(MWCNT)時に得られる COOHグループで機能化した。確かに、クー グループはSU8分子のエポキシリングと反応できる カーボンナノチューブ間の改善された相互作用をもたらす

(CNT)およびポリマーマトリックス。インピーダンス分光法は、 複合材料の伝導パーコレーション経路を研究するために使用され、 エポキシ中のナノチューブ分散液の品質である マトリックス。プロピレングリコールメチルエーテル酢酸プロピレンであることが判明 (PGMEA)とガンマブチロラクトン(GBL)は非常に 良好なSU8-MWCNTs複合材料を調製するのに適した溶媒 均質 性。

SU8-カーボンナノチューブ複合材料は、 の機械的、電気的、および熱的特性を高める SU8フォトレジスト。均質な複合材料は、 多層カーボンナノチューブ(MWCNT)時に得られる COOHグループで機能化した。確かに、クー グループはSU8分子のエポキシリングと反応できる カーボンナノチューブ間の改善された相互作用をもたらす

(CNT)およびポリマーマトリックス。インピーダンス分光法は、 複合材料の伝導パーコレーション経路を研究するために使用され、 エポキシ中のナノチューブ分散液の品質である マトリックス。プロピレングリコールメチルエーテル酢酸プロピレンであることが判明 (PGMEA)とガンマブチロラクトン(GBL)は非常に 良好なSU8-MWCNTs複合材料を調製するのに適した溶媒 均質 性。

標準的な紫外線フォトリトホッグ-ラフィーによって調製された微細構造ベースのSU8-MWCNTsコンポジット。

SU-8フォトエポキシの多くの特性は、微小構造粒子検出器の製造に適しています。この記事では、SU-8マイクロストラクチャリング、すなわちマイクロパターン気体検出器とマイクロ流体シンチレーション検出器を利用して、いくつかの新しい検出器技術を見直すことを目的としています。

マリヤナ・ミオニック、バスティアン・ジゲ、モシェ・ジュデレヴィッチ、ラズロ・フォロ、アルノー・マグレス


Phy。ステータスソリディB 246、No. 11-12、2461-2464 (2009)