SU-8ポリマーのトライボロジーは、様々な用途でこの材料のバースト使用のためにますます関連しています。本研究は、イオン液体(IL)vin SU-8の新規自己潤滑複合材料の導入と調査に向けたものである。この新しい材料は、微小電気機械システム(MEMS)用の微小電気機械システム(MEMS)用の、微小機械的性能を有する潤滑ポリマーコーティングの形成に利用できます。
レイリ・バツール、サンドラ・グアダルーペ・マルドナード、モシェ・ジュデレヴィッチ、ステファノ・ミシュラー
マイクロマシン 2015, 6,611-621