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Gersteltec Engineering Solutions
Swiss Made SU-8用于MEMS和微电子的光氧功能产品

使用 UV-LIGA 和微立体光刻对功能 3D 和高外形复合对象的微制造

30 5 月 2004

本文涉及UV-LIGA和微立体光刻微加工工艺的新复合光刻胶。

吉盖,塞巴斯蒂安;勒诺, 菲利普

洛桑:EPFL,2004年。

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