我们描述了一种用于制造陶瓷型MEMS器件的新型表面微加工工艺,例如独立式吊臂,该工艺基于SU8和铝的高纵横比微模作为牺牲层 a) 基于SU-8微模的陶瓷-MEMS悬臂制造序列的原理图,b) 全晶圆(100毫米)微/微模,具有牺牲层,c) 由聚尿素硅原填充并固化的微齿轮模具 法赫福里, V ;吉盖, S ;布鲁格尔, J 科学和技术进展,第45卷,2006年6月4日至9日,意大利西西里岛,2006年6月4日至9日,意大利西西里岛,第1293-1298页,《国际技术与技术委员会》(第11届现代材料与技术国际会议)。 全文
