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Swiss Made SU-8用于MEMS和微电子的光氧功能产品

复合光聚合物微结构:从平面到3D设备

本文对一些技术进行了调查,其中光可定义聚合物用作结构材料,并修改聚合物的物理特性以改变孔隙度、机械或电气特性。论文分为三个部分:(a) 2D、多层光聚合物、(b) 高纵横比和(c) 3D微立体光刻技术。此外,作者还提到了一些发展,其中光聚合用于局部创建特殊结构。

雷纳德, P ;梅兹, S ;吉盖, S ;贝尔施, A


波士顿传感器'03:技术技术奖,VOLS 1和2,2003年,第991
-994Présent®:第12届固态传感器、执行器和微系统国际会议,波士顿,马萨诸塞州,2003年6月09-12日。

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