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30 5 月, 2005
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30 5 月 2005
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用于微加工的导电SU8光阻
研制了用于电极直接光图案的导电复合光刻胶。它基于SU8中银纳米粒子的分散,这是一种非导电的负色调光阻器。制造结...
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