30 5 月 2006

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30 5 月, 2006

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5 月

30 5 月 2006admin出版物

SU-8 纳米复合光刻胶,具有低应力性能,适用于微加工应用

二氧化硅/SU-8纳米复合微切(50nm)的透射电子显微镜(TEM)图像。二氧化硅纳米颗粒被很好地分散到环氧基...

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填充物行为对移动微部件纳米复合SU8光刻胶的影响

本文介绍了低应力SU8纳米复合材料作为微部件和涂层应用的功能材料在SU8中,Inox球的摩擦系数在正常负荷为...

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SU-8 纳米复合涂层,具有改进的 MEMS 摩擦性能

对微机电系统 (MEMS) 的兴趣日益增长,提高了对光刻材料的要求,提高了机械加载的 3D 形状微结构的摩擦和...

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