admin - Part 3

6 月

我们描述了一种用于制造陶瓷型MEMS器件的新型表面微加工工艺,例如独立式吊臂,该工艺基于SU8和铝的高纵横比微...

5 月

二氧化硅/SU-8纳米复合微切(50nm)的透射电子显微镜(TEM)图像。二氧化硅纳米颗粒被很好地分散到环氧基...

5 月

本文介绍了低应力SU8纳米复合材料作为微部件和涂层应用的功能材料在SU8中,Inox球的摩擦系数在正常负荷为...

5 月

对微机电系统 (MEMS) 的兴趣日益增长,提高了对光刻材料的要求,提高了机械加载的 3D 形状微结构的摩擦和...

4 月

石英封装中水平平面电感器制造工艺的原理横截面。勒罗伊, 克里斯蒂娜 ;皮桑尼,马塞洛B;希伯特,西里尔;布维...

5 月

研制了用于电极直接光图案的导电复合光刻胶。它基于SU8中银纳米粒子的分散,这是一种非导电的负色调光阻器。制造结...

5 月

本文涉及UV-LIGA和微立体光刻微加工工艺的新复合光刻胶。吉盖,塞巴斯蒂安;勒诺, 菲利普洛桑:EPFL...

5 月

本文介绍了聚酰亚胺和SU-8中微流体器件的制造牺牲层方法。该技术使用嵌入聚酰亚胺或 SU-8 中的热除聚合聚碳...

5 月

本文介绍了可用于微立体光刻工艺中制造复合材料复杂3D成分的新型聚合物/陶瓷感光树脂。这些新树脂含有高负载(高达...

5 月

微立体光刻是一种允许在塑料材料中制造小型和复杂的三维 (3D) 组件的技术。这种技术产生的许多部件太小,太复杂...

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