一种新型导电感光复合电阻已经形成,并用于制造微元件。这种复合材料基于SU-8光聚合物,一种绝缘负色调光阻,其中银纳米颗粒被分散,以提高聚合物的电性能。这种新型感光复合材料的特性以光学和电气测量为特征。通过改变复合材料的粉末体积分数,可以获得各种电导率值的图案复合结构。评估了所生产结构的横向分辨率,并根据图案条件,可以优于5 /spl mu/m。
吉盖, S ;贝尔施, A ;霍夫曼, H ;雷纳德, P
MEMS 2004: 第17届IEEE微型机电系统国际会议,技术会议,2004年,第12
5-128页,第17届IEEE微机电系统国际会议,荷兰马斯特里赫特,2004年1月25-29日。