VCSAL（垂直腔表面发射激光器）的低成本包装对于其在计算机、通信和传感中的应用至关重要。 我们讨论了在VCSEL阵列上制造聚合物基微透镜，用于光束形成和与光纤的高效耦合。
滴-按需式微晶圆喷墨技术用于将 SU8 透镜沉积在 GaAs 基板和高性能 1310nm 波长 VCSELS 阵列上。 微透镜的形状通过改变液体粘度、液滴的数量和体积、喷嘴尺寸和基板温度来控制。 我们使用的粘度为 10、14、16、18 和 19mPa，温度为 27°c 和 60°C，喷嘴直径为 50μm。微透镜直径 d 和高度 h 在 d=130μm 和 210μm 和 h=20-40μm 之间变化。 这些参数对应于 160μm 到 230μm 的焦距。 最小直径和焦距的粘度为14mPa.s。在60°C。
通过将 SU8 镜头沉积在晶圆熔融 1310nm VCSEL 阵列上，从而研究了该方法与高性能电信 VCSEL 的兼容性，该阵列的调制速度为 10Gb/s。 在此阶段，VCSEL 镜头距离未针对最佳光束整形进行优化。 对比透镜沉积前后的光与电流特性，可以发现，在上一面布拉格镜上沉积聚合物后，器件的输出功率和外部效率显著提高。 测量输出功率从 2.5mW 增加到 3.5mW，阈值电流可承受地增加（从 1mA 增加到 1.5mA）。 我们将此结果解释为由于上介质折射率的变化，上镜反射率略有下降。 进一步的工作应产生优化的镜头，以便与单模光纤高效耦合。
埃拉菲·达利拉、亚历山德鲁·梅雷乌塔、本杰明·德维尔、莫什·朱德莱维奇、穆罕默德马赫迪·基亚伊、约尔根·布鲁格尔和埃利·卡彭。
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